Gestaltmessung an Asphären und Freiformflächen durch Messung der Kohärenzfunktion
Die Multiple Aperture Shear Interferometrie (MArS) ermöglicht die Formmessung von Asphären und Freiformoptiken. Das Verfahren basiert auf der Kohärenzfunktion und verwendet mehrere unabhängige Lichtquellen, mit denen die Beleuchtung an die Prüflingsoberfläche angepasst werden kann. Es handelt sich um ein flexibles, robustes Messsystem, das im industriellen Umfeld eingesetzt werden kann. Das Bild zeigt eine Messsituation, bei der mehr als hundert Lichtquellen gleichzeitig verwendet werden.